Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices

Advanced Micro and Nanosystems
Buch | Hardcover
XII, 427 Seiten
2004 | 1. Auflage
Wiley-VCH (Verlag)
978-3-527-30746-3 (ISBN)

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Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices -
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Mikro- und Nanotechnik haben Wissenschaft und Forschung revolutioniert. In Zukunft werden sie auch den Alltag verändern. Nun liegt der erste Band einer neuen Buchreihe vor: Advanced Micro and Nano Systems 1. Henry Baltes und seine Co-Autoren knüpfen mit AMN an die Sensors Update-Reihe an. Das Autorenteam wurde um weitere Experten erweitert. AMN wird zwei Mal pro Jahr mit einem neuen Band die aktuellen Entwicklungen in der Mikro- und Nano-Welt begleiten.Die Erforschung und der Einsatz von Mikro- und Nanosystemen sind eines der brandaktuellen Themen im Wissenschaftsbereich. Die Forschungsergebnisse werden mehr und mehr auch konkret umgesetzt. Damit werden Mikro- und Nanotechnologie zu Wirtschaftsfaktoren.Aktuelle Entwicklungen, neue Technologien, Nano-Bauelemente und Systeme im Mikromaßstab - Advanced Micro and Nano Systems, die neue Buchreihe, wird Spiegel der spannenden und faszinierenden Mikro- und Nano-Welt sein. Zweimal pro Jahr wird es einen neuen AMN-Band geben. Die Autoren sind ausgewiesene Spezialisten. Zu den Herausgebern zählt Henry Baltes, Professor an der ETH Zürich. Er zeichnete bereits für die Bände der Sensors Update-Reihe verantwortlich.Die Artikel ermöglichen Neueinsteigern einen ersten Zugriff auf die Materie. Fachleute erhalten einen umfassenden Überblick. Anspruch der Herausgeber ist es, nicht nur die theoretischen Grundlagen von Mikro- und Nanosystemen zu reflektieren, sondern immer auch praktische Möglichkeiten und die Grenzen der Anwendung im Blick zu haben. Die AMN-Bände sind Handbücher und Nachschlagewerke in einem. Die Reihe richtet sich an Vertreter unterschiedlicher Fachrichtungen: Biologie, Chemie, Mathematik, Sensorindustrie und Materialwissenschaften.

Henry Baltes is Professor Emeritus of ETH Zurich affiliated with Micro and Nanosystems at the Department of Mechanical and Process Engineering. He was Professor of Physical Electronics at ETH Zurich and Director of the Physical Electronics Laboratory (PEL) from 1988 to 2006. In 2004 and 2005 he acted as start-up Chair of the future Department of Biosystems Science and Engineering (D-BSSE) of ETH Zurich located at Basel. Henry Baltes is a Fellow of the IEEE and a Member of the Swiss Academy of Technical Sciences. He served on the Editorial Board of the Proceedings of the IEEE, the Search Committee of the Koerber Foundation, and the Advisory Committee of the Freiburg Institute of Advanced Sudies. He is a co-founder of the spin-off company SENSIRION.

MEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS
M3: The Third Dimension of Silicon
Trends in MEMS Commercialization
Capacitive Interfaces for MEMS
Packaging of Advanced Micro- and Nanosystems
High Frequency Integrated Micro-electromechanical Resonators and Filters
MEMS in Mass Storage Systems
Scanning Micro- and Nanoprobes for Electrochemical Imaging
NANODEVICE TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS
Nanofluidic Simulations
Nanofluidics - Structures and Devices
Carbon Nanotubes and Sensors: a Review
CMOS-based DNA Sensor Arrays

"Overall, the book gives good insight into very recent technologies, developments, and practical applications in the MEMS field. I would recommend this book as supplementary reading for graduate students, but not as a class text since the book assumes the reader already has fundamental knowledge in this research field. The book is also a very useful source for professionals in related areas of materials science and mechanical and chemical engineering who want to become aware of emerging MEMS technologies."
Advanced Materials

"... an excellent book that gives a good overview and discussion of sensors and devices commonly found in the field of MEMS as well as more advanced devices..."
MRS Bulletin

Erscheint lt. Verlag 24.6.2004
Reihe/Serie Advanced Micro and Nanosystems ; 1
Sprache englisch
Maße 170 x 240 mm
Gewicht 960 g
Themenwelt Technik Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte Analytical Chemistry • Analytische Chemie • Chemie • Chemistry • Control Systems Technology • Electrical & Electronics Engineering • Electrical & Electronics Engineering • Electronic materials • Electronic Packaging • Elektronik • Elektronikbauteile • Elektronische Materialien • Elektrotechnik u. Elektronik • Halbleiter • Industrial Chemistry • Materials Science • Materialwissenschaften • MEMS • Mikrostruktur • Mikrotechnik • Mustererkennung • Nanotechnologie • nanotechnology • Pattern Analysis • Regelungstechnik • Robotics • Robotik • semiconductors • Sensoren • Sensoren, Instrumente u. Messung • Sensor Materials • Sensors, Instrumentation & Measurement • Sensors, Instrumentation & Measurement • Technische u. Industrielle Chemie
ISBN-10 3-527-30746-X / 352730746X
ISBN-13 978-3-527-30746-3 / 9783527307463
Zustand Neuware
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