Mikrosystemtechnik für Ingenieure
Seiten
1997
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2., vollst. neu überarb. Aufl.
Wiley-VCH (Verlag)
978-3-527-29405-3 (ISBN)
Wiley-VCH (Verlag)
978-3-527-29405-3 (ISBN)
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Völlig neubearbeitet: das erste umfassende Lehrbuch der Mikrosystemtechnik berücksichtigt die neuesten Trends dieses interdisziplinären Forschungsgebiets (u.a. LIGA, Siliziumtechnik, Anwendungen, z.B. in der Medizintechnik).
Sprache | deutsch |
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Maße | 170 x 240 mm |
Gewicht | 996 g |
Einbandart | gebunden |
Schlagworte | Mikrosystemtechnik |
ISBN-10 | 3-527-29405-8 / 3527294058 |
ISBN-13 | 978-3-527-29405-3 / 9783527294053 |
Zustand | Neuware |
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