Nanostrukturierter CMOS-kompatibler Drucksensor

Parallel zu den Entwicklungen im Bereich der Mikroelektronik sind die Möglichkeiten der Sensorik sowohl durch die Miniaturisierung als auch durch die gleichzeitige Verbindung der Elektronik mit der Mechanik zu sogenannten Mikro-Elektro-Mechanischen-Systemen, kurz MEMS, regelrecht revolutioniert worden.
Als bedeutender Baustein dieser Technologie wird ein innovativer Drucksensor vorgestellt und dessen Herstellung mittels Nanostrukturierung demonstriert. Hierbei stehen die Analyse der möglichen Flächenoptimierung und die Erhöhung der Sensitivität gegenüber bestehenden Sensorkonzepten im Vordergrund.