Microlithography 2005
2005
SPIE Press (Hersteller)
978-0-8194-5737-0 (ISBN)
SPIE Press (Hersteller)
978-0-8194-5737-0 (ISBN)
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Erscheint lt. Verlag | 31.7.2005 |
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Reihe/Serie | Proceedings of SPIE ; v. CDS162 |
Verlagsort | Bellingham |
Sprache | englisch |
Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
ISBN-10 | 0-8194-5737-X / 081945737X |
ISBN-13 | 978-0-8194-5737-0 / 9780819457370 |
Zustand | Neuware |
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