Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology (eBook)

eBook Download: PDF
2005 | 2005
X, 230 Seiten
Springer Berlin (Verlag)
978-3-540-27372-1 (ISBN)

Lese- und Medienproben

Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology - Andreas Hierlemann
Systemvoraussetzungen
149,79 inkl. MwSt
  • Download sofort lieferbar
  • Zahlungsarten anzeigen
This book, 'Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology', provides a comprehensive treatment of the highly interdisciplinary field of CMOS chemical microsensor systems. It is targeted at students, scientists and engineers who are interested in gaining an introduction to the field of chemical sensing since all the necessary fundamental knowledge is included. However, as it provides detailed information on all important issues related to the realization of chemical microsensors in CMOS technology, it also addresses experts well familiar with the field. After a brief introduction, the fundamentals of chemical sensing are presented. Fabrication and processing steps that are commonly used in the semiconductor industry are then detailed followed by a short description of the microfabrication techniques, and of the CMOS substrate and materials. Thereafter, a comprehensive overview of semiconductor-based and CMOS-based transducer structures for chemical sensors is given. CMOS-technology is then introduced as platform technology, which enables the integration of these microtransducers with the necessary driving and signal conditioning circuitry on the same chip. In a next section, the development of monolithic multisensor arrays and fully developed microsystems with on-chip sensor control and standard interfaces is described. A short section on packaging shows that techniques from the semiconductor industry can be applied to chemical microsensor packaging. The book concludes with a brief outlook on future developments, such as the realization of more complex integrated microsensor systems and methods to interface biological materials, such as cells, with CMOS microelectronics.

Preface 6
Contents 8
1 Introduction 11
2 Fundamentals of Chemical Sensing 18
3 Microtechnology for Chemical Sensors 24
3.1 Microtechnology Substrate Materials 25
3.2 Fundamental Semiconductor Processing Steps 25
3.3 CMOS Technology 29
3.4 Microfabrication for Chemical Sensors 31
4 Microfabricated Chemical Sensors 37
4.1 Chemomechanical Sensors 37
4.2 Thermal Sensors 47
4.3 Optical Sensors 53
4.4 Electrochemical Sensors 67
5 CMOS Platform Technology for Chemical Sensors 93
5.1 CMOS Capacitive Microsystems 96
5.2 CMOS Calorimetric Device 108
5.3 CMOS Integrated Resonant Cantilever 117
5.4 CMOS Microhotplate System Development 141
5.5 CMOS Chemical Multisensor Systems 171
5.6 CMOS Chemical Microsensor and System Packaging 189
6 Outlook and Future Developments 194
References 200
Abbreviations 225
Index 229

Erscheint lt. Verlag 29.8.2005
Reihe/Serie Microtechnology and MEMS
Microtechnology and MEMS
Zusatzinfo X, 230 p. 125 illus., 5 illus. in color.
Verlagsort Berlin
Sprache englisch
Themenwelt Naturwissenschaften Chemie
Technik Elektrotechnik / Energietechnik
Technik Maschinenbau
Schlagworte Chemical sensor • CMOS • Control • Development • Integrated systems • Material • Microsensors • microsystems • Monolithic • semiconductor • Sensor • sensors • Standard
ISBN-10 3-540-27372-7 / 3540273727
ISBN-13 978-3-540-27372-1 / 9783540273721
Haben Sie eine Frage zum Produkt?
PDFPDF (Wasserzeichen)
Größe: 4,2 MB

DRM: Digitales Wasserzeichen
Dieses eBook enthält ein digitales Wasser­zeichen und ist damit für Sie persona­lisiert. Bei einer missbräuch­lichen Weiter­gabe des eBooks an Dritte ist eine Rück­ver­folgung an die Quelle möglich.

Dateiformat: PDF (Portable Document Format)
Mit einem festen Seiten­layout eignet sich die PDF besonders für Fach­bücher mit Spalten, Tabellen und Abbild­ungen. Eine PDF kann auf fast allen Geräten ange­zeigt werden, ist aber für kleine Displays (Smart­phone, eReader) nur einge­schränkt geeignet.

Systemvoraussetzungen:
PC/Mac: Mit einem PC oder Mac können Sie dieses eBook lesen. Sie benötigen dafür einen PDF-Viewer - z.B. den Adobe Reader oder Adobe Digital Editions.
eReader: Dieses eBook kann mit (fast) allen eBook-Readern gelesen werden. Mit dem amazon-Kindle ist es aber nicht kompatibel.
Smartphone/Tablet: Egal ob Apple oder Android, dieses eBook können Sie lesen. Sie benötigen dafür einen PDF-Viewer - z.B. die kostenlose Adobe Digital Editions-App.

Buying eBooks from abroad
For tax law reasons we can sell eBooks just within Germany and Switzerland. Regrettably we cannot fulfill eBook-orders from other countries.

Mehr entdecken
aus dem Bereich
Eigenschaften, Verarbeitung, Konstruktion

von Erwin Baur; Dietmar Drummer; Tim A. Osswald; Natalie Rudolph

eBook Download (2022)
Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG
69,99