Excimer Laser Lithography
Seiten
1998
SPIE Press (Verlag)
978-0-8194-0271-4 (ISBN)
SPIE Press (Verlag)
978-0-8194-0271-4 (ISBN)
| Erscheint lt. Verlag | 30.3.1998 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Press Monographs |
| Zusatzinfo | illustrations |
| Verlagsort | Bellingham |
| Sprache | englisch |
| Gewicht | 899 g |
| Themenwelt | Naturwissenschaften |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| ISBN-10 | 0-8194-0271-0 / 0819402710 |
| ISBN-13 | 978-0-8194-0271-4 / 9780819402714 |
| Zustand | Neuware |
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