Microoptics and Mems
2002
SPIE Press (Hersteller)
978-0-8194-3393-0 (ISBN)
SPIE Press (Hersteller)
978-0-8194-3393-0 (ISBN)
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This course provides an introduction to the fields of Microoptics and MEMS and reviews the synergistic role these technologies play in the emerging field of Micro-Optic-Electro-Mechanical Systems (MOEMS).
| Erscheint lt. Verlag | 31.3.2002 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Proceedings of SPIE ; VT11159 |
| Verlagsort | Bellingham |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Optik |
| ISBN-10 | 0-8194-3393-4 / 0819433934 |
| ISBN-13 | 978-0-8194-3393-0 / 9780819433930 |
| Zustand | Neuware |
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