Beiträge zur Technologieentwicklung für die Erzeugung von Airgap-Strukturen in Metallisierungssystemen in integrierten Schaltkreisen (eBook)
283 Seiten
GRIN Verlag
978-3-640-29438-1 (ISBN)
Fortgang werden Präparationen beider Technologien vorgestellt und deren Machbarkeit nachgewiesen. Die Erprobung und Optimierung einzelner Prozesse werden dokumentiert. Anhand der funktionsbedingten Anforderungen an Materialien und Grenzflächen werden ausgewählte Integrationsaspekte untersucht. Den Schwerpunkt bildet dabei der Einfluss von Fluorwasserstoffsäure auf elektrisch leitfähige und dielektrische Diffusionsbarrieren, Kupfer sowie deren Verbund. Es werden Möglichkeiten gezeigt, unerwünschte Wechselwirkungen zu minimieren und die Zuverlässigkeit der defektfreien Airgap-Erzeugung zu steigern. Die Arbeit beinhaltet zudem die Charakterisierung von Airgap-Strukturen entsprechend beider Ansätze hinsichtlich ihres elektrischen, thermischen und mechanischen Verhaltens für variierte Geometrien und Materialeigenschaften. Es werden FEM Simulationen genutzt, um Messwerte zu verifizieren, Extrapolationen bei variierten Eingabedaten durchzuführen oder nicht messbare Größen zu extrahieren.
Erscheint lt. Verlag | 20.3.2009 |
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Verlagsort | München |
Sprache | deutsch |
Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
Schlagworte | airgap_strukturen • Airgap-Strukturen • beitraege • Beiträge • Erzeugung • metallisierungssystemen • schaltkreisen • Technologieentwicklung |
ISBN-10 | 3-640-29438-6 / 3640294386 |
ISBN-13 | 978-3-640-29438-1 / 9783640294381 |
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Größe: 24,7 MB
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