Semiconductor-On-Insulator Materials for Nanoelectronics Applications (eBook)
IX, 447 Seiten
Springer Berlin (Verlag)
978-3-642-15868-1 (ISBN)
New semiconductor-on-insulator materials.- Physics of modern SemOI devices.- Diagnostics of the SOI devices.- Sensors and MEMS on SOI.
| Erscheint lt. Verlag | 3.3.2011 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Engineering Materials |
| Zusatzinfo | IX, 447 p. |
| Verlagsort | Berlin |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Technik ► Maschinenbau | |
| Schlagworte | MEMS • MOSFET • Nanowires • sensors |
| ISBN-10 | 3-642-15868-4 / 3642158684 |
| ISBN-13 | 978-3-642-15868-1 / 9783642158681 |
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