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Ion Implantation Technology 2012

Media-Kombination
460 Seiten
2013 | 2013 ed.
American Institute of Physics
978-0-7354-1108-1 (ISBN)
299,95 inkl. MwSt
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This conference is the premier world meeting for the presentation of the latest advances in all aspects of ion implantation, from the fundamentals of ion-solid interactions to manufacturing applications of the new machines and systems. It also offers detailed consideration of the state of the art for advanced thermal material science to advanced equipment, with emphasis on junction formation and also other novel applications.

Doping Technology.- Annealing Technology.- Characterization.- Modeling and Simulation.- Advanced Equipment.

Erscheint lt. Verlag 1.3.2013
Reihe/Serie AIP Conference Proceedings ; 1496
Verlagsort New York
Sprache englisch
Maße 155 x 235 mm
Themenwelt Technik Elektrotechnik / Energietechnik
Technik Maschinenbau
ISBN-10 0-7354-1108-5 / 0735411085
ISBN-13 978-0-7354-1108-1 / 9780735411081
Zustand Neuware
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