2001 International Interconnect Technology Conference (Iitc)
2001
I.E.E.E.Press (Hersteller)
978-0-7803-6679-4 (ISBN)
I.E.E.E.Press (Hersteller)
978-0-7803-6679-4 (ISBN)
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Topics covered in this CD-ROM include: silicide/salicide; dielectrics; planarization; metallization; process integration; process control/modelling; reliability; and interconnect systems.
| Erscheint lt. Verlag | 30.6.2001 |
|---|---|
| Verlagsort | Piscataway NJ |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 0-7803-6679-4 / 0780366794 |
| ISBN-13 | 978-0-7803-6679-4 / 9780780366794 |
| Zustand | Neuware |
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