Nichtlineare Approximationsmethoden zur Reduzierung nichtidealer Sensoreigenschaft in integrierten CMOS-Sensorsystemen.

Die vorliegende Dissertation beschäftigt sich sowohl mit konventionellen als auch neuartigen Approximationsverfahren zur kostengünstigen Reduzierung von nichtidealen Sensoreigenschaften. Zu den untersuchten Verfahren gehört ein einfaches, ein rechnergestütztes und ein daraus abgeleitetes neuartiges Tabellenverfahren. Das neuartige Verfahren nutzt dabei die interpolativen Eigenschaften überabgetasteter A/D-Wandler aus. Das neuartige Verfahren wird zur Temperaturkompensation eines hybrid aufgebauten Drucksensors auf piezoresistiver Basis verwendet. Die starke Temperaturabhängigkeit des Drucksensors konnte somit auf unter 100ppm/K reduziert werden. Durch die ernorme Flexibilitat kann das neuartige Verfahren für viele andere auftretende Problemstellungen der Sensorik verwendet werden.