Die Zuverlässigkeit von Elektronik- und Mikrosystemen

Das Buch behandelt die Eigenschaften von Halbleiterbauelementen, integrierten Schaltungen, optoelektronischen und mikromechanischen Bauelementen sowie ihre Dauerhaftigkeit und Zuverlässigkeit vom Standpunkt der Zuverlässigkeitsphysik. Die Zuverlässigkeit elektronischer, mechanischer, optischer und anderer Bauelemente und Systeme der Mikrotechnik für die Informationsübertragung und -verarbeitung wird einheitlich und mit einem Ausblick auf die Nanotechnik dargestellt. Auf alle physikalisch-chemischen Prozesse in diesen Bauelementen, die zu gewünschten Eigenschaften oder zur Degradation und zum Ausfall führen können, wird eingegangen. Inhalt: – Hauptmerkmale der Zuverlässigkeit der Mikro- und Submikrometertechnik – Physikalische und statistische Untersuchungen der Zuverlässigkeit – Funktionale Schichten und passive Schaltungselemente – Steuerbare Schaltungselemente integrierter Schaltungen – Mechanische Zuverlässigkeit elektronischer Bauelemente – Schaltkreiszuverlässigkeit – Zuverlässigkeit ausgewählter optischer Bauelemente für Übertragungssysteme – Zuverlässigkeit in der Mikromechanik