Entwicklung eines integrierbaren optischen Meßsystems zur Kontrolle der Linienbreiten periodischer sub-Mikrometerstrukturen
Seiten
2003
|
1., Aufl.
Shaker (Verlag)
978-3-8322-1766-2 (ISBN)
Shaker (Verlag)
978-3-8322-1766-2 (ISBN)
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- 2003/6
| Reihe/Serie | Erlanger Berichte Mikroelektronik ; 2003/6 |
|---|---|
| Sprache | deutsch |
| Maße | 148 x 210 mm |
| Gewicht | 291 g |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | Cost-of-Ownership-Modell • DRAM-Fertigung • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Linienbreitenkontrolle • Neuronale Netzwerke • optische Beugung |
| ISBN-10 | 3-8322-1766-5 / 3832217665 |
| ISBN-13 | 978-3-8322-1766-2 / 9783832217662 |
| Zustand | Neuware |
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