Optimierung von Gate-Dielektrika für die MOS-Technologie - Alexandra Ludsteck

Optimierung von Gate-Dielektrika für die MOS-Technologie

Buch | Softcover
130 Seiten
2005 | 1., Aufl.
Shaker (Verlag)
978-3-8322-4247-3 (ISBN)
45,80 inkl. MwSt
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Reihe/Serie Berichte aus der Halbleitertechnik
Sprache deutsch
Maße 148 x 210 mm
Gewicht 195 g
Einbandart Paperback
Themenwelt Technik Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte Halbleitertechnologie • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Oxynitrid • Rapid Thermal Processing (RTP) • Siliziumdioxid • Siliziumnitrid
ISBN-10 3-8322-4247-3 / 3832242473
ISBN-13 978-3-8322-4247-3 / 9783832242473
Zustand Neuware
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