Photonenaktivierte Reinigungs-und Oxidationsprozesse für die Nanoelektronik
Seiten
2007
|
1., Aufl.
Cuvillier, E (Verlag)
978-3-86727-386-2 (ISBN)
Cuvillier, E (Verlag)
978-3-86727-386-2 (ISBN)
- Titel ist leider vergriffen;
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| Einbandart | kartoniert |
|---|---|
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | Informationstechnik • Nanoelektronik • Oxidationsprozess • Photonen • Reinigungsprozess |
| ISBN-10 | 3-86727-386-3 / 3867273863 |
| ISBN-13 | 978-3-86727-386-2 / 9783867273862 |
| Zustand | Neuware |
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