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Photonenaktivierte Reinigungs-und Oxidationsprozesse für die Nanoelektronik

(Autor)

Buch | Softcover
148 Seiten
2007 | 1., Aufl.
Cuvillier, E (Verlag)
978-3-86727-386-2 (ISBN)
23,00 inkl. MwSt
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Einbandart kartoniert
Themenwelt Technik Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte Informationstechnik • Nanoelektronik • Oxidationsprozess • Photonen • Reinigungsprozess
ISBN-10 3-86727-386-3 / 3867273863
ISBN-13 978-3-86727-386-2 / 9783867273862
Zustand Neuware
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