Measurement Technology for Micro-Nanometer Devices - Haifei Bao, Jingdong Chen, Liguo Chen, Xiujian Chou, Dachao Li, Zongmin Ma, Tielin Shi, Chenyang Xue, Wendong Zhang

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Measurement Technology for Micro-Nanometer Devices (eBook)

Haifei Bao, Jingdong Chen, Liguo Chen, Xiujian Chou, Dachao Li, Zongmin Ma, Tielin Shi, Chenyang Xue, Wendong Zhang (Autoren)

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2016 | 1. Auflage
344 Seiten
Wiley (Verlag)
978-1-118-71799-8 (ISBN)

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Ebook-Leseprobe (EPUB)

A fully comprehensive examination of state-of-the-art technologies for measurement at the small scale Highlights the advanced research work from industry and academia in micro-nano devices test technology Written at both introductory and advanced levels, provides the fundamentals and theories Focuses on the measurement techniques for characterizing MEMS/NEMS devices

WENDONG ZHANG, North University of China, China XIUJIAN CHOU, North University of China, China TIELIN SHI, Huazhong University of Science and Technology, China ZONGMIN MA, North University of China, China HAIFEI BAO, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, China JING CHEN, Peking University, China LIGUO CHEN, Soochow University, China DACHAO LI, Tianjin University, China CHENYANG XUE, Key Laboratory of Instrument Science and Dynamic Measurement, Ministry of Education, China

Erscheint lt. Verlag	18.10.2016
Sprache	englisch
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Themenwelt	Technik ► Maschinenbau
Schlagworte	Control Process & Measurements • Electrical & Electronics Engineering • Elektrotechnik u. Elektronik • Maschinenbau • Materials Science • Materialwissenschaften • mechanical engineering • MEMS • Mess- u. Regeltechnik • Mikroelektronik • Nanoelektronik • Optical and Non-Linear Optical Materials • Optische u. Nichtlineare Optische Materialien
ISBN-10	1-118-71799-6 / 1118717996
ISBN-13	978-1-118-71799-8 / 9781118717998

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